在MLI设计中，“10层/5断缝”工艺中的“5断缝”含义是（）

在MLI设计中，“10层/5断缝”工艺中的“5断缝”含义是（）
A.每5层切断一次接缝
B.接缝错位5mm
C.5层一组错位搭接
D.5处接缝用断热片
正确答案：C