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以下半导体产线上最昂贵的设备是（）？

以下半导体产线上最昂贵的设备是（）？
曝光显影机
CVD镀膜机
晶片清洗机
封装机
正确答案：晶片清洗机

标签：半导体技术导论晶片半导体

上一条：目前量产的半导体器件节点尺寸是（）？

下一条：在CMOS工艺中，通常采用对光刻胶曝光显影来实现所设计结构的图案制备。