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以下哪种材料无法通过分子束外延生长法制备？

以下哪种材料无法通过分子束外延生长法制备？
Si
GaAs
IGZO
GaN
正确答案：IGZO

标签：半导体技术导论外延法制

上一条：通过扩散方式掺杂对杂质浓度和掺杂深度的控制精度比通过离子注入的方式掺杂要高。

下一条：以下哪种不属于化学气相沉积法