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以下哪种不属于化学气相沉积法

以下哪种不属于化学气相沉积法
PECVD
DPCVD
MOCVD
LPCVD
正确答案：DPCVD

标签：半导体技术导论化学

上一条：以下哪种材料无法通过分子束外延生长法制备？

下一条：化学气相沉积法的反应原料是气体，反应物是固体，副产物也可以是固体