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以下对于重掺磷技术的难点描述错误的是()
以下对于重掺磷技术的难点描述错误的是()
A.易挥发,高浓度磷原子不能掺入硅熔体
B.高浓度磷掺入的微缺陷难以准确显示
C.磷的分凝系数过高,导致轴向掺杂不均匀
D.高浓度磷容易造成组分过冷,导致多晶
正确答案:磷的分凝系数过高,导致轴向掺杂不均匀
标签:
半导体材料
系数
多晶
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直拉硅单晶的发展呈现大尺寸大直径的趋势,单晶炉也逐渐发展变大。
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以下对于直拉硅晶体中的氧杂质描述错误的是()