首页 › 答案 › 题库 › 慕课 › 未分类

硅的同质外延生长的原理是用氢气还原硅的氯化物。

硅的同质外延生长的原理是用氢气还原硅的氯化物。
A.正确
B.错误
正确答案：正确

标签：半导体材料氯化物氢气

上一条：外延生长是一种生长硅单晶薄膜的方法，衬底材料中使用蒸发速率比较小的掺杂元素可以抑制自掺杂，比如Sb。

下一条：目前SOI材料的主流制备技术是注氧隔离技术和智能剥离技术。