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磷在硅熔体与晶体中的分凝系数约为0.35,这使得液相掺杂拉制的掺磷硅锭的电阻率:
磷在硅熔体与晶体中的分凝系数约为0.35,这使得液相掺杂拉制的掺磷硅锭的电阻率:
A.轴向均匀
B.轴向递减
C.轴向递増
D.径向递减
正确答案:轴向递减
标签:
微电子工艺
电阻率
晶体
上一条:
在硅片晶向、掺杂类型介绍中,由硅片断裂边形成的角度是60o可知硅片是什么晶向?
下一条:
关于拉单晶时进行的缩颈步骤,下面的说法那种正确?