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关于拉单晶时进行的缩颈步骤,下面的说法那种正确?
关于拉单晶时进行的缩颈步骤,下面的说法那种正确?
A.可以多次缩颈
B.为了能拉出与籽晶相同的硅锭
C.为了终止籽晶中的线缺陷向晶锭的延伸
D.为了终止与籽晶结合处的缺陷向晶锭的延伸
正确答案:可以多次缩颈;为了终止籽晶中的线缺陷向晶锭的延伸;为了终止与籽晶结合处的缺陷向晶锭的延伸
标签:
微电子工艺
缺陷
拉出
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磷在硅熔体与晶体中的分凝系数约为0.35,这使得液相掺杂拉制的掺磷硅锭的电阻率:
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在空间微重力室用CZ法也能拉制出大尺寸优质晶锭