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热氧化速率快慢排序:氧化最快、氧化次之、氧化最慢。(从“干氧、湿氧、水汽”中选择填空,中间用“、”隔开)
热氧化速率快慢排序:氧化最快、氧化次之、氧化最慢。(从“干氧、湿氧、水汽”中选择填空,中间用“、”隔开)
正确答案:水汽、湿氧、干氧
标签:
微电子工艺
水汽
快慢
上一条:
制作一硅晶体管芯片,在最后用热氧化方法制备了一层SiO2作为保护层。
下一条:
热氧化过程中杂质在SiO2/Si界面的浓度是突变的,这是由杂质()引起的。(两个字)