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poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的？

poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的？
A.PECVD
B.LPCVD
C.APCVD
D.LCVD
正确答案：LPCVD

标签：微电子工艺薄膜方法

上一条：LPCVD-SiO2，将工艺控制在较高温度，有：kshg，此时淀积速率的特点为：

下一条：关于PECVD-Si3N4薄膜的下列说法哪个对？