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等离子体是物质的一种热平衡存在形态。

等离子体是物质的一种热平衡存在形态。
A.正确
B.错误
正确答案：错误

标签：微电子工艺等离子体形态

上一条：关于PECVD-Si3N4薄膜的下列说法哪个对？

下一条：CVD工艺反应剂气体分子到达衬底表面特殊位置的机制有：扩散；；表面迁移。（三个字）