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溅射与蒸镀比较,下列那种说法正确:
溅射与蒸镀比较,下列那种说法正确:
A.溅射工艺薄膜质量(如粘附性、保形性等)更好
B.蒸镀工艺薄膜质量(如粘附性、保形性等)更好
C.蒸镀工艺的普适性更好
D.溅射工艺的普适性更好
正确答案:溅射工艺薄膜质量(如粘附性、保形性等)更好;蒸镀工艺的普适性更好
标签:
微电子工艺
工艺
薄膜
上一条:
从两电极面积判断射频溅射时,靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上?
下一条:
薄膜应力与测量时的温度有关。