从两电极面积判断射频溅射时，靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上？

从两电极面积判断射频溅射时，靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上？
A.靶放在面积小的电极上
B.靶放在面积大的电极上
C.衬底放在面积大的电极上
D.衬底放在面积小的电极上
正确答案：靶放在面积小的电极上；衬底放在面积大的电极上