光刻工艺是按照下列哪种流程顺序进行操作？

光刻工艺是按照下列哪种流程顺序进行操作？
A.打底膜、涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶
B.打底膜、前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶
C.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶
D.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶、刻蚀
正确答案：打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶