下列有关曝光的描述正确的是：

下列有关曝光的描述正确的是：
A.确定图案的精确形状和尺寸；
B.步进曝光机一次就可以完成曝光；
C.使受光照射区域的光刻胶膜发生化学反应形成潜影；
D.需要进行准确对版后再曝光，才能保证各次光刻的套准精度。
正确答案：确定图案的精确形状和尺寸；；使受光照射区域的光刻胶膜发生化学反应形成潜影；；需要进行准确对版后再曝光，才能保证各次光刻的套准精度。