在深亚微米微光刻工艺中，如果要得到小尺寸的栅极或CD，需要的是（）

在深亚微米微光刻工艺中，如果要得到小尺寸的栅极或CD，需要的是（）
A、亮场掩模版+正性光刻胶
B、亮场掩模版+负性光刻胶
C、暗场掩模版+正性光刻胶
D、暗场掩模版+负性光刻胶
正确答案：亮场掩模版+正性光刻胶