在集成电路工艺中，光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是（）

在集成电路工艺中，光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是（）
A、淀积
B、刻蚀
C、氧化
D、光刻
正确答案：光刻