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集成电路光学光刻的关键设备（）

集成电路光学光刻的关键设备（）
A、涂胶机
B、掩膜版
C、光源
D、光刻机
正确答案：光刻机

标签：光刻集成电路光源

上一条：在集成电路工艺中，光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是（）

下一条：集成电路制造中图形转移是通过（）工艺实现的