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MEMS

1下列哪一个不是MEMS的主要构成（）
2在MEMS中，材料以（）为主
3以下选项中（）不属于MEMS式光开关的组成部分。
4以下选项中（）不属于MEMS式光开关的组成部分
5MEMS的中文全称是（）。
6MEMS传感器具有以下哪个优点？
7MEMS传感器的优势包括？
8在微电子机械系统（MEMS）中，材料以（）为主。
9MEMS的意思是（）。
10基于MEMS的新型微结构气敏传感器，中，硅基微结构器皿传感器是当前微结构气敏传感器的主流。MEMS，是指（）
11MEMS陀螺仪（IMU）主要是根据重力和惯性的原理，检测（）个方向的加速度和角速度，从而进行物体空间定位的部件。
12微机电系统（MEMS）技术是特征尺度跨越毫米和微米的两个邻接微小领域的高新技术，是信息化智能化的关键核心技术。
13MEMS传感器系统在温度800-1500℃都可正常工作，超过1500℃则无法正确工作。
14在MEMS加工中，为了精确控制腐蚀深度，有哪几种腐蚀停止技术，分别说一下其腐蚀停止原理。
15MEMS系统主要包括传感器、执行器和相应的处理电路三部分。（）