VPE制备n+/p-Si，结果pn结进入了衬底，这是什么原因造成的：

VPE制备n+/p-Si，结果pn结进入了衬底，这是什么原因造成的：
A.自掺杂效应
B.互扩散效应
C.衬底表面没清洗干净的缘故。
D.掺杂气体不纯
正确答案：互扩散效应