在VPE.MBE.SEG.LPE.SPE.UHV/CVD.MOCVD中，哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层？

在VPE.MBE.SEG.LPE.SPE.UHV/CVD.MOCVD中，哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层？
A.MBE
B.VPE.LPE
C.UHV/CVD
D.SEG.SPE
正确答案：MBE；UHV/CVD