扩散掺杂，扩散区要比掩膜窗口尺寸，这是（）效应引起的，它直接影响超大规模集成电路的集成度。

扩散掺杂，扩散区要比掩膜窗口尺寸，这是（）效应引起的，它直接影响超大规模集成电路的集成度。
A.大，横向扩散
B.小，横向扩散
C.大，场助扩散
D.大，氧化增强
正确答案：大，横向扩散