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扩散系数在何时不可以看成是常数:
扩散系数在何时不可以看成是常数:
A.在中等浓度p型硅上扩散掺入n型杂质;
B.在重掺杂p型硅上扩散掺入n型杂质;
C.在本征硅上扩散掺入中等浓度的杂质硼。
D.在本征硅上扩散掺入高浓度的杂质硼,同时进行氧化。
正确答案:在重掺杂p型硅上扩散掺入n型杂质;;在本征硅上扩散掺入高浓度的杂质硼,同时进行氧化。
标签:
微电子工艺
杂质
浓度
上一条:
扩散掺杂,扩散区要比掩膜窗口尺寸,这是()效应引起的,它直接影响超大规模集成电路的集成度。
下一条:
一扩散,采取两歩工艺:预淀积温度高(1200℃)时间长(50min),再分布温度低(970℃)时间短(30min),杂质近似为服从高斯分布。