关于离子注入区形成非晶层的临界剂量，下面哪几种说法正确：

关于离子注入区形成非晶层的临界剂量，下面哪几种说法正确：
A.注入离子越轻，临界剂量越小；
B.靶温升高，临界剂量上升；
C.注入离子能量越高，临界剂量越低；
D.注入离子剂量率增大，临界剂量降低。
正确答案：靶温升高，临界剂量上升；；注入离子能量越高，临界剂量越低；；注入离子剂量率增大，临界剂量降低。