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离子注入硼无需退火就有电活性,所以才会出现随退火温度升高反而电激活率下降的逆退火现象。
离子注入硼无需退火就有电活性,所以才会出现随退火温度升高反而电激活率下降的逆退火现象。
A.正确
B.错误
正确答案:错误
标签:
微电子工艺
活性
离子
上一条:
关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确:
下一条:
在p-Si中扩磷20分钟,测得结深为0.5μm,为使结深达到0.8μm,在原条件下还要扩散多长时间?