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在Si中注入B+，能量为30KeV，剂量是10的12次方离子/cm2，查表可知Rp≈0.11μm，ΔRp=0.032μm，峰值浓度是1.25*10的16次方原子/cm3

在Si中注入B+，能量为30KeV，剂量是10的12次方离子/cm2，查表可知Rp≈0.11μm，ΔRp=0.032μm，峰值浓度是1.25*10的16次方原子/cm3
A.正确
B.错误
正确答案：错误

标签：微电子工艺次方峰值

上一条：在已扩散结深达0.8μm的p-Si上再进行湿氧，氧化层厚0.2μm时，结深是多少？(湿氧速率很快,短时间的氧化可忽略磷向硅内部的推进)

下一条：锑在硅中的最大固溶度只有5*10的19次方原子/cm3，但某芯片埋层掺杂要求掺入锑最大浓度应达5*10的20次方原子/cm3，因此，采用（）掺杂。