首页
›
答案
›
题库
›
慕课
›
未分类
外延工艺就是在晶体衬底上，用物理的或化学的方法生长（）薄膜。
外延工艺就是在晶体衬底上，用物理的或化学的方法生长（）薄膜。
正确答案：晶体
标签：
微电子工艺
晶体
衬底
上一条：
如果外延速率偏低，只要增大外延气体中硅源（如SiCl4）浓度，硅的气相外延速率就会增加。
下一条：
VPE制备n-/n+-Si用硅烷为源，硅烷是在（）完成的分解。可从下面选择：气相硅片表面n-/n+Si界面